離子注入與沉積系統

離子注入與沉積系統

離子注入與沉積系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2015年1月1日啟用。

基本介紹

  • 中文名:離子注入與沉積系統
  • 產地:中國
  • 學科領域:材料科學
  • 啟用日期:2015年1月1日
  • 所屬類別:工藝試驗儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

金屬、氣體離子注入以及濺射沉積。

主要功能

精密工件表面改性,提高硬度、導電性能、耐腐蝕性能等。

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