離子注入與沉積系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2015年1月1日啟用。
基本介紹
- 中文名：離子注入與沉積系統
- 產地：中國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2015年1月1日
- 所屬類別：工藝試驗儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
金屬、氣體離子注入以及濺射沉積。
主要功能
精密工件表面改性，提高硬度、導電性能、耐腐蝕性能等。
離子注入與沉積系統
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