超高真空雷射分子束系統

超高真空雷射分子束系統是一種用於物理學、信息與系統科學相關工程與技術、自然科學相關工程與技術、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2012年12月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空雷射分子束系統
• 產地：中國台灣
• 學科領域：物理學、信息與系統科學相關工程與技術、自然科學相關工程與技術、材料科學
• 啟用日期：2012年12月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

1E-8Torr真空/800度加熱。

主要功能

氧化物薄膜製備。