超高真空綜合表面分析系統

超高真空綜合表面分析系統是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2005年9月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空綜合表面分析系統
• 產地：德國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2005年9月15日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

掃描器最大掃描範圍(x,y)：10um*10um；掃描器最大掃描範圍（z）：1.5um ；掃描器精度（z）：0.01nm。

主要功能

對納微材料進行物理特性分析（原子力顯微、掃描隧道顯微、開爾文探針）。