西門子法多晶矽

西門子法多晶矽是經過精餾提純的高純度三氯氫矽(SiHCl3)通過高純度氫氣(H2)還原而製得的多晶矽棒。因製備工藝為西門子公司發明而得名。

中文名稱	西門子法多晶矽
英文名稱	polycrystalline silicon by Siemens process
定　　義	經過精餾提純的高純度三氯氫矽(SiHCl3)通過高純度氫氣(H2)還原而製得的多晶矽棒。因製備工藝為西門子公司發明而得名。
套用學科	材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科）

基本介紹

• 中文名：西門子法多晶矽
• 外文名：polycrystalline silicon by Siemens process
• 一級學科：材料科學技術
• 二級學科：半導體材料

• 套用學科
• 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科）