多晶矽還原爐鐘罩清洗系統

多晶矽還原爐鐘罩自動清洗烘乾系統Bell jar cleaning system

■適用範圍

西門子法多晶矽還原爐鐘罩（爐筒）內壁的全自動清洗和烘乾。

■工作原理

以高壓水射流為動力,以水力自驅動三維洗罐器為噴頭，形成360°的網狀噴射表面，完成鐘罩內部表面的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水（去離子水或叫脫鹽水）漂洗，用高純水沖洗，完成清洗過程。

用經過三級淨化（10萬級）的純淨空氣，梯級加熱，最終保證烘乾完的鐘罩不再結露，可直接進入生產作業。

■系統特點

1)PLC+觸控螢幕柔性自動控制系統，實現對還原爐鐘罩的自動清洗和烘乾同時具有半自動或手動功能。

2)可以在一套系統實現多種型號還原爐鐘罩的清洗烘乾。

3)節能、環保、安全：提供了預熱（餘熱蒸汽、餘熱水或油）加熱清洗水及乾燥空氣的方案。全密閉式清洗烘乾系統，基本消除了對現場及操作人員的污染。

■工作流程

還原爐鐘罩到位—預清洗—清洗劑（鹼液）清洗—漂洗—高純水沖洗—淨化熱空氣乾燥—常溫乾燥—鐘罩吊走。

註：清洗劑的選擇對清洗效果和作業安全有直接影響。

■基礎條件

1)電源：380V/50Hz，30KW，電纜引至控制櫃。

2)蒸汽：壓力0.175-0.9Mpa（G），到指定接口點。

3)壓縮空氣：不小於流量3NM3/h，壓力0.6-0.75Mpa（G）（氣動閥、氣缸用氣）, 指定接口點。

4)脫鹽水：可提供條件，不小於100L/min，到指定接口點。

5)純水：不小於 100L/min，到指定接點。

6)清洗劑：NaOH清洗液等，不小於2立方米。

7)占地面積：36-80平方米（寬約6-7米，長6-12米

8)三廢處理：洗滌後的含酸或鹼液廢水、廢渣，排放到需方指定處，由需方自行處理，配排污水（池、槽）溝；清洗和烘乾產生的廢氣做室外排空排放。

■設備組成

1)高壓熱水清洗動力裝置1套

由高壓熱水清洗機及附屬檔案（1套），高壓水自驅動三維洗罐器（1套），三維洗罐器升降裝置（氣動，1套）組成。

2)熱風淨化烘乾機組1套

進風淨化等級：10萬級。

3)清洗烘乾工作檯及管道1套

4)電氣控制系統1套。

採用PLC+觸控螢幕全自動控制，全套德高潔版控制軟體。

註：水和風的加熱方式：電加熱，蒸汽、餘熱水或油的熱交換器換熱。

■布置方案

1)一樓布置典型方案。全部設備在1樓清洗間，不防爆。室外取風、室外排風。

2)一、二樓布置

典型方案。清洗烘乾主設備、主控制櫃，在1樓設備間，不防爆；工作檯及遠程控制箱在2樓工作場地。防爆。

3)一、二、三、樓布置，主機一拖二方案。

基本介紹