表面粗糙度測量是指將表面粗糙度比較樣塊（簡稱樣塊，圖1）根據視覺和觸覺與被測表面比較，判斷被測表面粗糙度相當於那一數值，或測量其反射光強變化來評定表面粗糙度(見雷射測長技術)。
基本介紹
- 中文名：表面粗糙度測量
- 外文名：surface roughness measurement
- 含義：微觀幾何形狀特性的測量
- 常用方法：比較法、觸針法、光切法
比較法,印模法,觸針法,干涉法,光切法,
比較法
將表面粗糙度比較樣塊（簡稱樣塊，圖1）根據視覺和觸覺與被測表面比較，判斷被測表面粗糙度相當於那一數值，或測量其反射光強變化來評定表面粗糙度(見雷射測長技術)。樣塊是一套具有平面或圓柱表面的金屬塊，表面經磨、車、鏜、銑、刨等切削加工，電鑄或其他鑄造工藝等加工而具有不同的表面粗糙度。有時可直接從工件中選出樣品經過測量並評定合格後作為樣塊。利用樣塊根據視覺和觸覺評定表面粗糙度的方法雖然簡便，但會受到主觀因素影響，常不能得出正確的表面粗糙度數值。
印模法
在實際測量中,常會遇到深孔,盲孔.凹槽,內螺紋等既不能使用儀器直接測量,也不能使用樣板比較的表面.這是常用印模法.印摸法是利用一些無流動性和彈性的塑性材料（如石蠟等）貼合在 被測表面上.將被測表面的輪廓複製成模.然後測量印模,從而來評定被測表面的粗糙度.
觸針法
利用針尖曲率半徑為 2微米左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學式長度感測器轉換為電信號，經放大、濾波、計算後由顯示儀表指示出表面粗糙度數值，也可用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀（見彩圖），同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀（簡稱輪廓儀，圖2。這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機，它能自動計算出輪廓算術平均偏差Rα，微觀不平度十點高度RZ，輪廓最大高度Ry和其他多種評定參數，測量效率高，適用於測量Rα為0.025～6.3微米的表面粗糙度。
干涉法
利用光波干涉原理 (見平晶、雷射測長技術)將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，並利用放大倍數高 （可達500倍）的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大後進行測量，以得出被測表面粗糙度。套用此法的表面粗糙度測量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用於測量Rz和Ry為 0.025～0.8微米的表面粗糙度。
