表面化學組成

固體表面的化學組成是討論任何材料表面物理化學的基礎之一。這方面內容主要涉及表面原子的種類、數量及其化學狀態的測定。對於材料表面實際問題的分析與解決，往往不僅要得到化學組成在表面上的分布，而且還要測定在垂直表面方向上的濃度梯度。後者對於研究固固復層界面問題尤為重要，討論的重點是表面化學組成的測定方法。

表面原子易於遷移擴散，對多組分合金或摻雜氧化物材料，還常常出現表面偏析（segregation)。這三方面都會直接影響實際工作狀態材料和器件表面的真正化學組成。表面原子的遷移擴散還會形成一定的表面缺陷，它是造成材料失效、影響光電器件性能，特別是大規模積體電路和讀寫磁頭穩定性和可靠性的重要因素之一。這種原子的遷移和擴散也是材料科學與工程中常見的一種物理現象。