粘滯性(光刻中衡量光刻膠流動特性指標)

粘滯性指的是衡量液體光刻膠流動特性的定量指標。

基本介紹

• 中文名：粘滯性
• 外文名：Viscosity

粘滯性與時間相關，因為它會在使用中隨著光刻膠溶劑揮發增加。粘滯性非常重要，因為矽片表面具有各種形貌，例如，台階和狹縫，在這些地方，它會影響光刻膠的厚度和均勻性。隨著粘滯性增加，光刻膠流動的趨勢變小，它在矽片上的厚度增加。低粘滯性光刻膠流動的傾向性更大，會在矽片表面產生更薄的覆蓋層。