真空表面處理

真空表面處理，在真空系統中對固體樣品表面的清潔處理和改性處理。

基本介紹

• 中文名：真空表面處理
• 定義：在真空系統中對固體樣品表面的清潔處理和改性處理

解釋

在材料製備過程中造成的表面接觸污染，加熱導致的體內雜質向表面的擴散，材料和環境氣氛中的分子發生作用導致的表面物理和化學反應如吸附、氧化等，都會改變表面的狀態。為了得到清潔的“真實”表面，要根據不同的材料和不同的污染物和雜質進行真空處理。主要方法有高溫退火、惰性氣體（常用氬氣）離子濺射、活性原子腐蝕、蒸發或外延生長等。真空表面改性是指為了增強材料的某些性能，如材料表面的耐磨、抗腐蝕能力，在真空中對表面進行鈍化、氮化和蒸鍍保護膜等。由於真空中不存在氧氣、水和碳化物等污染物，所以能對處理過程有較好的控制，並且還能使用各種物理手段進行有效的監測。

示例

如俄歇電子能譜對化學成分的檢測，電子衍射對結構的表征，而這些在大氣環境下是無法進行的。