真空熱蒸發鍍膜機

真空熱蒸發鍍膜機是一種用於信息科學與系統科學領域的分析儀器，於2013年12月24日啟用。

基本介紹

• 中文名：真空熱蒸發鍍膜機
• 產地：加拿大
• 學科領域：信息科學與系統科學
• 啟用日期：2013年12月24日
• 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器 > 旋轉薄膜蒸發儀

技術指標

直徑400mm，高475mm,D字形結構；鋁合金或不鏽鋼艙體可供選擇；最大可處理直徑200mm的基片；整體尺寸600mmx1000mm。

主要功能

支持多個PVD操作；最多可安裝6個蒸發源；獨立或共蒸功能；可與手套箱集成；多種備選功能；全球通用電源。