濺射清洗表面是指摩擦、磨損表面、化工腐蝕表面、離子注入改性表面、飩化膜、表面塗層以及各種失效器件表面分析研究等樣品，其表面狀態比較複雜，它們大多直接來自實際工作環境。對這類樣品進行表面分析研究時，一般採用氬離子束濺射清洗。即在UHV系統中，對樣品表面進行刻蝕去除表面污染。該方法的缺點是，濺射時會破壞表面的晶格結構；對某些組成複雜的合金或化合物，還存在擇優濺射從而影響化學組成測量的準確性。儘管如此，它仍然在常規表面分析時被普遍採用。
藉助於這些表面分析諧儀，人們在實驗研究中又發現了許多新的表面現象，提出了一些新的概念，豐富並發展了材料表面物理化學的內容。如進一步提出了理想表面、真實表面和重構表面；提出了表面缺陷及結構模型；提出了表面原子的遷移擴散以及表面偏析；提出了吸附層超品結構等。值得強調的是，表面科學家能夠在UHV系統中製備出各種特徵表面。今天人們已能測出表面的電子結構、異質界面Schotky勢全高度及相關參數對它的影響；已能夠把氣體分子在固體表面上的活化過程及相應的結構變化測定出來，並能對基元過程以及相應的能級特徵做出定量的描述口詞。對材料表面這些新現象的觀測和研究，不僅加深了對Langmuir時代表面化學的理解，同時也推進了表面物理化學的進一步發展。可以說，沒有現代的表面分析諧儀，就不可能有近代表面物理化學的發展和成就。表面科學近30年的巨大成就，集中反映在幾本重要的專輯中。Duke把這一階段在農面結構表征和研究表面現象方面所具有的令人驚奇的能力與所取得的成果，視為真正的表面科學的誕生。它不僅是科學上的一場革命，同時也是技術領放內的一場革命。
