濺射清洗

濺射清洗是利用離子轟擊濺射作用，對材料表面進行清潔處理的過程。

中文名稱	濺射清洗
英文名稱	sputtering cleaning
定　　義	利用離子轟擊濺射作用，對材料表面進行清潔處理的過程。
套用學科	材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），表面改性和塗層技術（四級學科）

• 套用學科
  
• 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），表面改性和塗層技術（四級學科）