紫外線中波長在200納米至350納米的光線被稱為深紫外線，被廣泛用於淨水廠、醫院、工廠無塵車間的空氣殺菌、處理甲醛等領域。
2014年03月25日，日本立命館大學發表一份公報稱，其研究人員開發出一種能夠以很低的成本高效製作深紫外線發光二極體(LED)的技術，有望成為聯合國限制水銀使用後被廣泛採用的深紫外線光源。
紫外線中波長在200納米至350納米的光線被稱為深紫外線，被廣泛用於淨水廠、醫院、工廠無塵車間的空氣殺菌、處理甲醛等領域。過去，很多深紫外線光源採用水銀燈，聯合國2014年組織各方簽訂的《水俁公約》規定要大幅限制水銀的使用，因此有必要開發替代光源。
深紫外線LED就可以用來替代水銀燈，過去製作深紫外線LED要用昂貴的藍寶石做基板，其高昂成本限制了普及程度。立命館大學高級研究員青柳克信等人報告說，可以利用廉價的矽酮取代藍寶石作為基板，從而能大幅削減成本。
此外，過去的工藝中為了讓電流通過，需要剝離基板上的一部分絕緣層。而新方法是在矽酮基板上附著一層氮化鋁作為絕緣體，然後在上面開出多個微孔讓電流通過。這樣做無需剝離絕緣層，大幅縮短了工序，以前需要5天的製作工作可以縮短到1天，而且避免了剝離絕緣層時對LED的損傷，發光效率也得到提高。
