深紫外光致抗蝕劑

利用波長為200一 叨加n:的深紫外線進行光刻的抗蝕劑，由於波長短，可減少 衍射效應，深紫外光刻的解析度可達0 .5拜。，但實際解析度約 為1一1 .5胖m。一般說來利用輻射化學原理的電子束或X射 線抗蝕劑均可用作探紫外抗蝕劑。