流動圖形缺陷

流動圖形缺陷

流動圖形缺陷是2011年公布的材料科學技術名詞。

中文名稱流動圖形缺陷
英文名稱flow pattern defects,FPDs
定  義矽片表面用腐蝕劑擇優腐蝕後顯示出的呈流線狀的腐蝕痕跡。
套用學科材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),元素半導體材料(三級學科)

基本介紹

  • 中文名:流動圖形缺陷
  • 外文名:flow pattern defects,FPDs
  • 所屬學科:材料科學技術 
  • 公布年度:2011年
  • 出處:《材料科學技術名詞》
定義
矽片表面用腐蝕劑擇優腐蝕後顯示出的呈流線狀的腐蝕痕跡。

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