氣相沉積爐為沉積爐主體內有加熱室，水冷電極，測溫熱電偶，是處理工件的核心部分。
前言,內容,
前言
氣相沉積爐計算機控制系統使用說明書
下圖為本控制系統對應的實際工作組成部件
⑴ 為沉積爐主體內有加熱室，水冷電極，測溫熱電偶，是處理工件的核心部分。
⑵ 為混氣罐，由1隻電動蝶閥、2隻浮子流量計和4隻不鏽鋼手動截止閥組成，負責氬氣和丙烷的混氣配比，以及向沉積爐內定量輸送工作氣體。
⑶ 2台滑閥泵負責爐內空氣及工作廢氣的排除，使爐子工作在恆定的壓力範圍之內
⑷ 過濾罐2台負責滑閥泵前級的粉塵排除，
⑸ 真空電動蝶閥2台在滑閥泵工作過程中，通過調節閥的開度，從而可以調節泵的抽速，使爐子工作在恆定的壓力範圍之內
⑥ 加熱磁性調壓器，3台獨立工作，完成爐溫的控制
內容
：為了使上述元器件能夠協調工作，工作人員更具可操作性，用於控制的計算機設定了多重畫面，多個運行參數，使得工作過程更加直觀，操作更加簡便，各操作畫面解釋如下。
啟動初始畫面，
按“進入工作系統”鍵進入主控畫面，開始工作。主控制板在系統工作過程中起到整體監控作用，系統運行時的主要參數都反映在本畫面當中
⑴ 加熱磁性調壓器工作狀態，顯示“正常”、“故障”兩種狀態
⑵ 報警滾動條，顯示上電狀態及有報警標誌
⑶ 實時曲線顯示，反映當前三個溫度和一個絕對壓力隨時間變化規律
⑷ 爐內絕對壓力數值顯示，反映內部工作時的氣體壓力
⑸ 充氣管路上的電動蝶閥，顯示該閥的工作狀態包括伺服、斷電狀態及閥位的當前開度大小
⑥ 爐內三個溫區的溫度數值顯示，反映內部工作時的三個不同部位的溫度
⑺ 示意條顯示氣體流動方向
⑻ 抽空管路上的電動蝶閥，顯示該閥的工作狀態包括伺服、斷電狀態及閥位的當前開度大小
⑼ 示意條顯示氣體流動方向
⑽ 抽空管路上的1#真空電動蝶閥，顯示該閥的工作狀態包括伺服、斷電狀態及閥位的當前開度大小
⑾ 抽空管路上的2#真空電動蝶閥，顯示該閥的工作狀態包括伺服、斷電狀態及閥位的當前開度大小
⑿ 抽空管路上的1#滑閥泵，顯示該閥的工作狀態包括正常運行、故障狀態
⒀ 抽空管路上的2#滑閥泵，顯示該閥的工作狀態包括正常運行、故障狀態
⒁ 功能按鈕負責螢幕的切換，“氣氛控制”切換至抽空管路的控制畫面，“溫度控制”切換至溫度參數相關的控制畫面，“加溫工藝”切換至溫度參數設定畫面，“歷史數據”切換至過去主意參數的記錄信息畫面，“事件記錄”切換至過去運行過程中發生的事件的記錄信息畫面
“氣氛控制”如下控制畫面，
充氣電動蝶閥調節器為反向調節器，抽空電動蝶閥調節器為正向調節器
⑴ 顯示該電動蝶閥的工作狀態包括伺服、斷電狀態
⑵ 爐內絕對壓力數值顯示，截取1000Pa以內的壓力值，作為調節的控制反饋量
⑶ 實時控制設定值，通過設定該參數使爐內壓力保持恆定，需要充氣蝶閥和抽空蝶閥配合動作
⑷ 控制器輸出指示，隨著輸出量的增大該指示燈逐漸變亮，
⑸ 控制器手動指示，顯示控制器當前的工作狀態，
⑥ 控制器輸出指示，隨著輸出量的增大該指示進度條向右依次全部點亮
⑺ 電動蝶閥的工作狀態的控制按鈕，該按鈕顯示伺服狀態時，按下為蝶閥伺服，並顯示斷電，再次按下，蝶閥斷電，並顯示伺服，兩控制器操作完全相同
按動頁下面的“真空蝶閥”控制畫面進入下一氣氛控制畫面，畫面內容如下：
⑴ 顯示該電動蝶閥的工作狀態包括伺服、斷電狀態
⑵ 爐內絕對壓力數值顯示，作為調節的控制反饋量
⑶ 實時控制設定值，通過設定該參數使爐內壓力保持恆定，需要充氣蝶閥和抽空蝶閥配合動作
⑷ 控制器輸出指示，隨著輸出量的增大該指示燈逐漸變亮，
⑸ 控制器手動指示，顯示控制器當前的工作狀態，
⑥ 控制器輸出指示，隨著輸出量的增大該指示進度條向右依次全部點亮
⑺ 電動蝶閥的工作狀態的控制按鈕，該按鈕顯示伺服狀態時，按下為蝶閥伺服，並顯示斷電，再次按下，蝶閥斷電，並顯示伺服，兩控制器操作完全相同
⑧ 電動蝶閥控制器的工作狀態的控制按鈕，該按鈕顯示手動狀態時，按下為控制器手動，並顯示自動，再次按下，控制器自動，並顯示手動，兩控制器操作完全相同
⑨ 電動蝶閥控制器的手動輸出，按下可彈出螢幕軟體盤，進行輸出設定，設定範圍0-100，
兩控制器設定方式一致
按動頁下面的“滑閥泵”控制畫面進入另一氣氛控制畫面，畫面內容如下：
⑴ 顯示1#滑閥泵的本次運行時間 單位分鐘
⑵ 顯示1#滑閥泵的累計運行時間 單位小時
⑶ 運行狀態顯示 正常/故障
⑷ 累計故障次數
⑸ 1#滑閥泵的工作狀態的控制按鈕，該按鈕顯示啟動狀態時，按下為1#滑閥泵啟動，並顯示停止，再次按下，1#滑閥泵停止，並顯示啟動，兩控制器操作完全相同
按動本頁下面的“主控畫面”控制畫面退出到主控制板，按“溫度控制”按鈕畫面顯示如下：
本畫面共分6大功能區，分別是程式給定區，加熱控制區，1#--3#溫度調節區
程式給定區
本區可以選擇所要運行的工藝曲線（通過畫面軟體盤設定），運行（鍵值2，通過畫面軟體盤設定）、復位（鍵值1，通過畫面軟體盤設定）、暫停（鍵值4，通過畫面軟體盤設定）、及當前給定值setpoint的顯示，據設定不同的參數完成不同的控制功能，
加熱控制區
本區可控制電源櫃的加熱電源的投入、切除，並顯示三路電源的投切情況，及非常態的報警顯示
1#溫度調節區
本區可顯示該加溫區域的當前溫度值，控制輸出值，報警狀態，能夠完成手/自動切換，條形控制項輸出及輸出值指示
2#溫度調節區（與1#溫度調節區功能相同）
3#溫度調節區（與1#溫度調節區功能相同）
按動本頁下面的“加溫工藝”控制畫面切換到如下工作畫面：
本畫面為加熱工藝曲線設定畫面，包含曲線範例，本設定曲線為第1條曲線，下方表格中“段號”為該曲線中的段號，可設定1-15段。表格中“類型”為對應段號是哪個類型的段，也即是說，曲線中的一段，或是最終的一段，設定鍵值中間段設定值為0，終止段設定鍵值為1，表格中“溫度”為對應段號所有到達的溫度，表格中“時間”為對應段號溫度所有需要的時間，
按動本頁下面的“主控畫面”控制畫面退出到主控制板，按“歷史曲線”按鈕畫面顯示如下：
畫面顯示三區溫度和一個絕對壓力的歷史記錄曲線，通過螢幕下方的按鍵，可以滾動顯示以往的數據記錄，直觀的再現過去的工作情況
按動本頁下面的“主控畫面”控制畫面退出到主控制板，按“歷史曲線”按鈕畫面顯示如下：
畫面顯示生產過程中發生的事件，比如什麼時間打開、關閉的閥門，什麼時間打開、關閉的加熱，用否手動工作等事件進行了詳盡記錄、顯示，直觀的再現過去的工作情況
本系統在使用過程中還可以進一步拓展其它便利功能，需要使用者在生產實踐中進一步體會
編者 北京東勝亞電氣技術有限公司
