擺動曲線

擺動曲線是由光刻膠頂部反射的光線與穿過光刻膠的光線之間的干涉引起的，光通過光刻膠，然後從襯底反彈，最後從光刻膠頂部射出。

基本介紹

• 中文名：擺動曲線
• 外文名：Swing curve

光線通過光刻膠所經過的路徑長度決定了其相位，從而確定干涉是建設性的還是破壞性的。光刻膠厚度的變化導致實際進入光刻膠的能量的正弦變化。但是，隨著光線照射到光刻膠的角度發生變化，光線傳播的路徑長度發生變化。因此，以一個角度穿過光刻膠的光可以產生最大擺動曲線，而相同的光刻膠厚度可以是不同照明角度的最小擺動曲線。部分相干性和數值孔徑（NA）都影響曝光光刻膠的光的角度。必須將擺動曲線和反射率模擬作為為表面抗反射塗層厚度的函式，以便了解來自所有入射角光的貢獻。