基本介紹
- 作者:張琛
- 出版社:上海交大
- 出版時間:2005-12
- 頁數:295
- 定價:39.00元
- ISBN:9787313041777
內容介紹微執行器是現代自動控制技術的關鍵技術。近年來,隨著微電子技術和微細加工工藝的快速發展,特別是微納米技術的蓬勃興起,為微執行器的開研究提供了有力的技術...
MEMS執行器是將電信號轉化為微動作或微操作的MEMS器件。典型的MEMS執行器包括:微電動機、微開關、微夾鉗等;光MEMS器件中的數字微鏡和各種微光學開關;RF MEMS器件...
磁執行器可以分成洛侖茲力類型和雙極子類型。磁執行器利用電磁或者永磁體產生的磁場力進行驅動。磁執行器的形式很多:磁體可以分為永磁體和電磁。...
微機械加工技術的出現,使得製作矽微機械部件成為可能。在80年代初,一些有遠見的科學家提出了微機械執行器的概念。1987年,加州大學伯克利分校的范龍生等人用表面微...
4)集成化:可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個感測器或執行器集成於一體,或形成微感測器陣列、微執行器陣列,甚至把多種功能的器件集成在一起,形成複雜...
本書系統地介紹了微機電技術基本內容、分析方法和主要套用,包括微機電系統概述、...4.1.1 MEMS微感測器 1674.1.2 微執行器 1774.2 微加速度計 184...
我們認為,下一代的器件將使用微泵、流量感測器、微混合器、微篩、微反應器等,...微系統的構成:一個完整的微系統由感測器模組、執行元件模組、信號處理模組、外部...
微感測器和MEMS(微電子機械系統)正在使半導體工業領域發生一場新的變革。微系統也稱為”晶片系統”,將微電子電路和微感測器及微執行器組合起來。這一新興領域已經...
微光學電子機械系統集微感測器、微執行器、電子電路和微光學元件於一體,同時執行光學、電學和機械功能,是微電子機械系統與集成光學的有機結合,是微電子機械系統在微...
6.9.3 微流體的尺度效應6.9.4 微執行器的尺度效應6.9.5 尺度效應實例第7章 微機電系統的封裝技術7.1 微機電系統的封裝等級和接口...
主要研究方向為微感測器和微執行器設計仿真、MEMS表面和界面分析以及電子封裝技術。先後主持或參與10項國家及省部級項目,發表學術論文55篇,其中23篇被三大檢索(SCl、...
本書的特點是信息量大、系統全面,包含了微機電系統製造過程中微機械加工、微封裝、微檢測各個環節;微機電系統構成中的各種微感測器、微執行器、微構件、微系統的...
《微機電系統套用》是MEMS系列圖書中的一本,主要介紹MEMS技術套用方面的知識。內容包括:慣性感測器、微機械壓力感測器、表面微加工器件、微執行器、湍流感測器與執行器...
MEMS是集微感測器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等於一體的微型器件或系統。MEMS是一個獨立的智慧型系統...
本書的特點是信息量大、系統全面,包含了微機電系統製造過程中微機械加工、微封裝、微檢測各個環節;微機電系統構成中的各種微感測器、微執行器、微構件、微系統的...
本書介紹微系統的基礎理論、分析設計方法和製造技術,以及前沿套用領域的多種典型器件。主要內容包括:微系統基本力學、微系統製造技術、微型感測器、微型執行器、射頻微...