《微機電系統套用》是2009年7月機械工業出版社出版的圖書，作者是Moahmed Gad-el-Hak，譯者是趙小林。
基本介紹
- 書名：微機電系統套用
- 作者：Moahmed Gad-el-Hak
- 譯者：趙小林
- ISBN：9787111267331
- 定價： 108.00 元
- 出版社：機械工業出版社
- 出版時間：2009年7月
- 開本：16
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《微機電系統套用》是MEMS系列圖書中的一本，主要介紹MEMS技術套用方面的知識。內容包括：慣性感測器、微機械壓力感測器、表面微加工器件、微執行器、湍流感測器與執行器、微機器人技術、微型真空泵、非線性動電器件、微液滴發生器、微熱管和微散熱器、微通道熱沉、流動控制、用於邊界層減阻的反應式控制、自由剪下流的MEMS自主控制。
圖書目錄
譯叢序言
譯者序
第1章 緒論
參考文獻
第2章 慣性感測器
2.1 簡介
2.2 慣性感測器的套用
2.3 加速度的基本概念
2.4 直線運動慣性感測器參數
2.5 旋轉運動的慣性感測器參數
2.6 慣性感測器件的微機械加工技術
2.7 微加工工藝加工問題
2.8 慣性感測器的系統問題
2.9 結束語
參考文獻
第3章 微機械壓力感測器：器件、接口電路及性能
3.1 簡介
3.2 器件結構和性能測試
3.3 壓阻式壓力感測器
3.4 電容式壓力感測器
3.5 伺服控制壓力感測器
3.6 其他壓力感測方式
3.7 結論
參考文獻
第4章 表面微加工器件
4.1 引言
4.2 材料特性和幾何結構
4.3 應力與應變
4.4 機械設計
4.5 封裝
4.6 套用
4.7 MEMS失效機理
4.8 結論
參考文獻
第5章 微執行器
5.1 引言
5.2 壓電執行器
5.3 電磁驅動器
5.4 形狀記憶合金驅動器
參考文獻
第6章 湍流感測器與執行器
6.1 緒論
6.2 MEMS工藝概述
6.3 湍流
6.4 用於湍流測量和控制的感測器
6.5 用於流動控制的微執行器
6.6 微透平機械
6.7 結論
參考文獻
第7章 微機器人技術
7.1 引言
7.2 什麼是微機器人
7.3 微機器人的套用環境
7.4 微機器人的製造技術
7.5 微機器人器件
7.6 多機器人系統（微型工廠和桌面工廠）
7.7 結論與討論
參考文獻
第8章 微型真空泵
8.1 引言
8.2 基礎知識
8.3 泵尺度
8.4 MEMS真空系統的極限壓強和抽氣能力
8.5 MEMS系統的工作壓強和Ⅳ需求
8.6 尺度規律綜述
8.7 新型泵送技術
8.8 結論
參考文獻
第9章 非線性動電器件
9.1 引言
9.2 非線性動電現象
9.3 交流動電現象
9.4 小結
參考文獻
第10章 微液滴發生器
10.1 簡介
10.2 微液滴發生器的工作原理
10.3 物理和設計問題
10.4 微液滴發生器的製造
10.5 液滴產生的特性
10.6 套用
10.7 結束語
參考文獻
第11章 微熱管和微散熱器
11.1 概述
11.2 單個微熱管
11.3 微熱管陣列
11.4 平板微散熱器
11.5 新設計
11.6 概要和結論
參考文獻
第12章 微通道熱沉
12.1 緒論
12.2 微通道內對流換熱的基本原理
12.3 微通道內單相對流換熱
12.4 微通道內兩相對流換熱
12.5 小結
參考文獻
第13章 流動控制
13.1 緒論
13.2 一般性原理
13.3 “馴悍記”（The taming of the Shreu）
13.4 湍流控制
13.5 抽吸
13.6 相干結構
13.7 反應式流動控制
13.8 磁流體控制
13.9 混沌控制
13.10 軟計算
13.11 套用MEMS技術的反應式控制
13.12 總結
參考文獻
第14章 用於邊界層減阻的反應式控制
14.1 緒論
14.2 近壁流向渦
14.3 反相控制
14.4 基於壁上檢測的反應式控制
14.5 有源壁運動
14.6 結束語
參考文獻
第15章 自由剪下流的MEMS自主控制
15.1 緒論
15.2 自由剪下流
15.3 剪下層MEMS控制系統組件和問題
15.4 三角翼上滾動力矩的控制
15.5 超聲速射流嘯音的控制
15.6 低雷諾數翼上分離的控制
15.7 對未來的思考
參考文獻
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