動態微機電系統——理論與套用

內容簡介

當前MEMS製造工藝技術較豐富成熟，出版的教材專著較多，然而MEMS的設計理論發展遠滯後於製造技術。動態MEMS設計理論成為本專業領域技術人員和初級研究者所迫切想了解的學科前沿技術。本專著以動態MEMS設計理論為主題，從材料製備技術、系統設計方法、製造工藝方法、建模與控制方法，以及系統套用的角度，較全面深入地介紹當前國內外最新研究成果。本專著內容主要取材於作者課題組近5年在國家自然科學基金資助下取得的科研成果，同時對本專著所涵蓋專業領域國內外的主流前沿技術進行系統歸納，使讀者能在較短時間內對動態MEMS系統設計獲得較為全面的了解，並從中選擇自己感興趣的主題進一步研究，以期對我國MEMS設計理論發展與套用起到一定推動作用。本專著內容安排力求深入淺出，引文詳實豐富，從而兼顧初涉本領域的研究生讀者和具有相當研究經驗基礎的讀者。因此既可以作為機械電子工程專業研究生教材，也可供材料科學、機械工程、電子工程、控制理論等領域研究和技術人員參考。

圖書目錄

前言

第1章緒論

1.1 引言

1.2 MEMS的基本特徵和主要技術領域

1.3 動態MEMS中的常用材料

1.4 動態MEMS的設計方法簡介

1.5 動態MEMS的製造技術簡介

1.6 動態MEMS的控制技術及其發展概況

1.7 MEMS的套用前景

參考文獻

第2章動態MEMS中的功能材料與製備方法

2.1 引言

2.2 動態MEMS壓電材料

2.3 動態MEMS磁致伸縮材料

2.4 動態MEMS形狀記憶合金材料

2.5 動態MEMS智慧型高分子材料

參考文獻

第3章動態MEMS的設計理論與設計方法

3.1 引言

3.2 分散式全柔性微機構的拓撲最佳化設計方法

3.3 動態MEMS的可靠性設計方法

3.4 電熱微致動器的魯棒最佳化設計

3.5 可變電容靜電微電機的最佳化設計

3.6 動態MEMS設計理論的發展展望

參考文獻

第4章動態MEMS的製造技術

4.1 MEMS的製造技術簡介

4.2 薄膜材料製備技術

4.3 光刻技術

4.4 刻蝕技術

4.5 鍵合工藝技術

4.6 MEMS製造中常見的失效模式與防止方法

參考文獻

第5章動態MEMS的建模與控制技術

5.1 引言

5.2 典型動態MEMS的動力學模型

5.3 動態MEMS的非線性特徵及其套用

5.4 動態MEMS控制技術的理論基礎

5.5 動態MEMS的控制器設計

5.6 動態MEMS的控制技術實驗方法

參考文獻

動態微機電系統——理論與套用

基本介紹

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