形狀測量雷射顯微鏡

形狀測量雷射顯微鏡是一種用於機械工程領域的特種檢測儀器，於2011年12月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：形狀測量雷射顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2011年12月12日
• 所屬類別：特種檢測儀器 > 射線檢測儀器

技術指標

針孔共聚焦光學系統解析度：高度0.0005um寬度0.01um。

主要功能

顯微測量；SEM；形狀測量；粗糙度儀。