超深度彩色3D形狀測量雷射顯微系統

超深度彩色3D形狀測量雷射顯微系統是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的分析儀器，於2018年7月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：超深度彩色3D形狀測量雷射顯微系統
• 產地：德國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2018年7月31日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器

技術指標

XYZ軸解析度1nm，重複精度(δ) 小於20nm； 16Bit光電倍增管，物鏡X10，X20，X50，X150；； 面掃描速度不低於500Hz，線掃描速度不低於9000Hz。

主要功能

幾何結構顯微觀察。