形狀測量雷射顯微系統是一種用於物理學領域的計量儀器，於2012年02月15日啟用。
基本介紹
- 中文名：形狀測量雷射顯微系統
- 產地：日本
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2012年02月15日
- 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 測量顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
物鏡倍數：10X、20X、50X、150X；光學變焦：1~6倍；操作距離（mm）：16.5、3.1、0.35、0.2；數值孔徑：0.3、0.46、0.95、0.95； 高度測量：顯示分辨能力：0.001um,重複精度：0.014um；寬度測量：顯示分辨能力：0.001um,重複精度:0.02um；測定用雷射：波長：408 nm,最大輸出功率：0.9mw。
主要功能
通過逐行掃描以及針孔共軛聚焦方式尋找出物體表面各點的焦距，各點焦距差即得到物體的形貌高度數據；將雷射掃描出來的物體表面形貌圖像和彩色CCD拍攝的圖像合成一體，從而得到的真實彩色超景深3D圖像；利用408 nm雷射把物體的微觀細節掃描出來，從而可以得到比一般光學顯微鏡更清晰的圖像和可以得到更高的解析度；該顯微鏡可以在X-Y-Z實現10到20納米的重複測量精度，顯示解析度可達1 nm。通過1—6倍的光學變焦，最大可以放大到18000倍（螢幕放大）。
