三合一形狀測量雷射顯微鏡是一種用於林學、材料科學領域的分析儀器，於2015年12月8日啟用。
基本介紹
- 中文名：三合一形狀測量雷射顯微鏡
- 產地：日本
- 學科領域：林學、材料科學
- 啟用日期：2015年12月8日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 光學顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
視野 (最小觀察範圍)：16 μm 至 5400 μm 掃描方式 (常規測量時及圖像連線時)：自動上下限設定功能 高速光量最佳化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足補充功能(雙掃描) 重複精度：20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 觀察圖像：超高精細彩色CCD 圖像、16 bit 雷射彩色共焦點圖像、共焦點+ ND 濾波器光學系統、C- 雷射微分干涉圖像。
主要功能
樣品表面放大觀察、拍照；樣品表面輪廓、粗糙度、角度等尺寸測量；輸出樣品表面3D模型；用於薄膜表面形貌分析。
