小型雷射直寫儀

小型雷射直寫儀是一種用於生物學領域的分析儀器，於2013年11月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：小型雷射直寫儀
• 產地：德國
• 學科領域：生物學
• 啟用日期：2013年11月15日
• 所屬類別：分析儀器 > 生化分離分析儀器

技術指標

具備375nm的LED直寫頭,刻寫最小尺寸結構是1 μ m ，可以達到50 mm2 /min 的書寫速度。設備可套用於MEMS，BioMEMS，集成光路，微流體套用以及其他需要高精度解析度的微觀結構套用領域。

主要功能

μPG501是一款非常經濟，方便使用的細微圖形刻畫雷射直寫掩膜板製造設備，包括二極體雷射器，雷射干涉儀，聲光調製器，投影光刻物鏡，自動聚焦裝置，工作檯，alignment 用照相機，顯示器，照明光源，工作檯，控制計算機，基於MS Windows系統的控制軟體等，支持多種圖形格式。