射頻電源

射頻電源是可以產生固定頻率的正弦波電壓，頻率在射頻範圍（約3KHz～300GHz）內、具有一定功率的電源。

射頻電源已廣泛套用於半導體工藝設備；LED與太陽能光伏產業；科學實驗中的電漿發生；射頻感應加熱；醫療美容；常壓電漿消毒清洗等。

基本介紹

• 中文名：射頻電源
• 外文名： Radio Frequency power supply
• 產生時間：八十年末期
• 性質：電漿配套電源
• 套用：射頻濺射

簡介

射頻電源是可以產生固定頻率的正弦波電壓，頻率在射頻範圍（約3KHz～300GHz）內、具有一定功率的電源。

射頻電源已廣泛套用於半導體工藝設備；LED與太陽能光伏產業；科學實驗中的電漿發生；射頻感應加熱；醫療美容；常壓電漿消毒清洗等。

電源供應

電源供應（英語：Power supply），通常是指電力的來源。可能是供應電力的系統或裝置，或是其它能夠對負載提供能量輸出的電源。

電力供應包括配電系統，以及中小型的能源供應，例如：

• 市電，電力系統中的配電系統的末端，通常為110～220V。
  
• 轉換電力到另一種波形或電壓：整流器、反用換流器、電源供應器
  
• 電池、行動電源、不間斷電源
  
• 燃料電池和其他形式的能源儲存系統
  
• 太陽能電池
  
• 發電機
  

對於大型的電源供應，詳見發電。

射頻

射頻（英語：Radio frequency，縮寫為RF），又稱無線電頻率、無線射頻、高周波，為在3 kHz至300 GHz這個範圍內的震盪頻率，這個頻率相當於無線電波的頻率，以及攜帶著無線電信號的交流電的頻率。RF通常被用來指電子震盪，而不被用在機械震盪上，然而機械射頻系統仍然是存在的（如機械過濾器與射頻微機電系統）。

雖然射頻在定義上是用來指一種頻率，但在日常使用中，常被用來當成無線電的同義詞，以利描述無線通訊系統，如射頻識別。

在國際電信聯盟定義的無線電頻率劃分當中：

• 甚低頻（VLF）：3~30千赫（KHz）
  
• 低頻（LF）：30~300千赫（KHz）
  
• 中頻（MF）：300~3000千赫（KHz）
  
• 高頻（HF）：3~30兆赫（MHz）
  
• 甚高頻（VHF）：30~300兆赫（MHz）
  
• 特高頻（UHF）：300~3000兆赫（MHz）
  
• 超高頻（SHF）：3~30吉赫（GHz）
  
• 極高頻（EHF）：30~300吉赫（GHz）