固態射頻電源

固態射頻電源又稱電晶體射頻電源。是相對於電子管射頻電源來說的。

基本介紹

• 中文名：固態射頻電源
• 又稱：電晶體射頻電源
• 特點：使用壽命更長,功率控制更精密
• 廣泛套用：半導體工藝設備等
• 優於：電子管射頻電源

固態射頻電源相對於電子管射頻電源來說具有使用壽命更長,功率控制更精密,功率輸出更穩定,頻率精度更高。其不會隨著使用時間的增長而像電子管射頻電源那樣出現輸出功率衰減的問題。

現已廣泛套用於半導體工藝設備，LED與太陽能光伏產業，科學實驗中的電漿發生，射頻感應加熱，射頻醫療美容，常壓電漿消毒清洗等。