太陽能薄膜電池沉積系統

太陽能薄膜電池沉積系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2010年1月3日啟用。

基本介紹

• 中文名：太陽能薄膜電池沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2010年1月3日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

1、腔室配置及真空系統1個預抽室，1個樣品傳遞室（配裝高真空機械手），3～6個樣品製備室；樣品製備室包括：PECVD室和PVD（磁控濺射）室，數量由用戶選定；所有腔室有獨立的分子泵真空機組；腔體帶烘烤系統。2、系統控制控制系統採用計算機控制，能夠實現工藝程式自動化；觸控螢幕控制，動畫實時顯示工藝過程的狀況和提示。3、腔室材質採用304號不鏽鋼（奧氏體）或以上質量材質（由用戶選定）。4、薄膜沉積所有襯底均向上沉積；5、傳輸系統。

主要功能

主要用於矽基薄膜太陽電池的製備。可用於科學研究和中試生產。能夠沉積未摻雜或摻雜的非晶/微晶等不同類型的矽基薄膜，也包括沉積矽基薄膜電池的功能材料層，具有製備完整矽基薄膜太陽電池的能力。操作方式：手動、半自動、全自動方式運行。樣品傳遞採用公司專利產品——高真空機械手完成。