多功能離子束處理系統

多功能離子束處理系統是一種用於材料科學、冶金工程技術、化學工程領域的分析儀器，於2013年2月10日啟用。

基本介紹

• 中文名：多功能離子束處理系統
• 產地：德國
• 學科領域：材料科學、冶金工程技術、化學工程
• 啟用日期：2013年2月10日
• 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器

技術指標

集減薄和刻蝕於一體的離子束製備系統，離子能量範圍寬，可選擇高能和低能離子減薄，離子束寬度可調，可選擇聚焦和散焦離子束減薄，全數位化計算機控制，樣品移動全自動馬達控制。

主要功能

1. 具有為實現精確的重複製備而設定的程式庫。 2. CCD即時觀察，減薄過程的實時圖像存儲。 3. 一機多用，可製備TEM、SEM和LM多種樣品。