多功能離子束聯合濺射系統

多功能離子束聯合濺射系統是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，於2016年2月18日啟用。

基本介紹

• 中文名：多功能離子束聯合濺射系統
• 產地：中國
• 學科領域：信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2016年2月18日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

加熱溫度：350℃ 單一坩堝 蒸鍍金屬和氧化物。

主要功能

該儀器設備主要套用於薄膜生長。