反應濺射

反應濺射是指在存在反應氣體的情況下，濺射靶材時，靶材會與反應氣體反應形成化合物(如氮化物或氧化物)，在惰性氣體濺射化合物靶材時由於化學不穩定性往往導致薄膜較靶材少一個或更多組分，此時如果加上反應氣體可以補償所缺少的組分，這種濺射也可以視為反應濺射。