《半導體的檢測與分析》是1984年5月科學出版社出版的圖書，作者是中國科學院半導體研究所理化分析中心研究室。
基本介紹
- 中文名：半導體的檢測與分析
- 作者：中國科學院半導體研究所理化分析中心研究室
- 出版時間：1984年5月
- 出版社：科學出版社
- 統一書號：130312556
圖書簡介,圖書目錄,
圖書簡介
本書比較全面地介紹半導體科研、生產中最常用的各種檢測和分析方法，介紹了各種方法的原理、實驗技術和在半導體中的具體套用．全書共分十五章，包括半導體單晶定向，半導體晶體缺陷的金相觀察，X射線形貌技術，離子束分析，離子探針分析，俄歇電子能譜，掃描電子顯微鏡，電子探針，透射電子顯微鏡，半導體電學測量、光學測量，火花源質譜分析，原子吸收分光光度分析，高純氣體分析和高頻電感耦合電漿發射光譜等．為了說明各種檢測方法的套用，書中根據實踐經驗列舉了一些實例，同時有些方法在章末還附有一些必要的常用數據，以便讀者在實際工作中引用。
本書對象為從事半導體科研和生產的科研人員和工程技術人員，也可供大專院校有關專業師生參考。
圖書目錄
- 前言
- 目錄
- 第一章 半導體單晶定向
- 第二章 半導體晶體缺陷的金相觀察
- 第三章 X射線形貌技術
- 第四章 離子束分析
- 第五章 離子探針分析
- 第六章 俄歇電子能譜及其在半導體中的套用
- 第七章 掃描電子顯微鏡的原理及其在半導體中的套用
- 第八章 電子探針及其在半導體中的套用
- 第九章 透射電子顯微鏡及其在分析半導體晶體缺陷上的套用
- 第十章 半導體電學測量
- 第十一章 半導體光學測量
- 第十二章 火花源質譜分析
- 第十三章 原子吸收分光光度分析及其在半導體工藝研究中的套用
- 第十四章 高純氣體的分析
- 第十五章 高頻電感耦合電漿發射光譜
