北京大學薄膜電晶體與先進顯示實驗室是北京大學的下屬機構。
基本介紹
- 中文名：北京大學薄膜電晶體與先進顯示實驗室
- 設立地址：北京大學深圳研究生院
北京大學“薄膜電晶體與先進顯示實驗室”設立在北京大學深圳研究生院，是從事薄膜電晶體基礎研究的深圳市重點實驗室，同時也是北京大學有源顯示中心的深圳實驗室。北京大學薄膜電晶體與先進顯示實驗室擁有500平方米的潔淨實驗室，專職教師十餘人以及博士後數十人。
北京大學薄膜電晶體與先進顯示實驗室目前已初步建立了氧化物TFT材料、器件和電路的研究平台，擁有雙室磁控濺射台、RIE、PECVD、腐蝕清洗機、等離子去膠機、等離子清洗機、旋轉沖洗甩乾機、寬譜光源、台階儀、光學膜厚儀、退火爐、探針台、半導體測試儀等設備。
北京大學薄膜電晶體與先進顯示實驗室的目標是藉助北京大學深圳研究生院良好的軟硬體環境，發揮北大的優勢，開展人才培養和科學研究，構建一個面向產業、面向國際、具有核心競爭力的高端研發平台。
北京大學薄膜電晶體與先進顯示實驗室紮實開展教學與科研工作，立足於科技前沿，結合產業發展需求，已經取得了大量科研成果。近幾年，課題組主要成員已發表英文論文100餘篇。申請發明專利150多項，已授權發明專利70多項（其中美國授權發明專利6項）。特別是在氧化物TFT關鍵技術研發方面取得了一系列成果，某些成果達到國際先進水平，部分專利成果已經被業界用於量產品開發之中，取得了顯著的經濟和社會效益。
