三維高精度定位系統

三維高精度定位系統是一種用於機械工程領域的大氣探測儀器，於2009年12月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維高精度定位系統
• 產地：德國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2009年12月30日
• 所屬類別：大氣探測儀器

技術指標

行程100mm×100mm×7mm，解析度2nm，重複定位精度30nm。

主要功能

該儀器具有大行程和超高解析度，可用於待機械加工試件的三維高精度定位和移動。