三維微納米精密定位系統

三維微納米精密定位系統是一種用於機械工程領域的物理性能測試儀器，於2010年6月25日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維微納米精密定位系統
• 產地：德國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2010年6月25日
• 所屬類別：物理性能測試儀器

技術指標

1.宏動平台（滾珠絲槓）行程：102mm×120mm×102mm 解析度：0.033um2.微動平台：（壓電陶瓷）電壓範圍：-20~120V;行程：340um×340um×340um（開環），300um×300um×300um（閉環）解析度：0.5nm（開環），2nm（閉環）空載諧振頻率： X：140 Hz ； Y：140Hz ； Z：250Hz100g諧振頻率: X：120 Hz ； Y：120Hz ； Z：215Hz30g諧振頻率: X：110 Hz ； Y。

主要功能

1．壓電陶瓷執行器遲滯研究；2．用於大行程高精度微/納米定位與控制研究 ；3. 非光滑、非線性系統建模與控制研究。