《STM.AFM探針懸臂微細加工技術的理論與方法研究》是依託清華大學，由薛實福擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：STM.AFM探針懸臂微細加工技術的理論與方法研究
- 依託單位：清華大學
- 項目負責人：薛實福
- 項目類別：面上項目
- 批准號：59375239
- 申請代碼：E0509
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：1994-01-01 至 1996-12-31
- 支持經費：6（萬元）
項目摘要
STM、AFM探針懸臂樑（即感測器）微細加工技術的理論與方法項目研究了使用要求，制出圖表結構設計和用有限無結構最佳化設計法設計了感測器。對其微機械加工關鍵技術的理論與方法進行了實驗研究。在懸臂樑厚度上用KOH溶液兩步法P+自停止腐蝕精度達到0.1um。用RIE與濕法結合，以SiO2為掩模，SF6刻蝕矽，實現了懸臂樑探針一次成形，節省了掩模版。用濕法腐蝕對探針進行銳化，針尖半徑紅50nm。制定了較有特點的適合批量生產感測器機械加工工藝。首次研成用象散法測試感測器固有頻率和力彈性常數的裝置，制出的感測器在AFM上進行了實例，效果良好。發表了9篇論文，已被《中文科技期刊資料庫》引用3篇。培養了2名研究生。有套用前景。
