RF MEMS

RF 射頻，Radio Frequency ，簡稱 RF 。射頻就是射頻 電流，它是一種高頻交流 變化電磁波的簡稱。

～RF是什麼？～

RF 射頻，Radio Frequency ，簡稱 RF 。射頻就是射頻 電流，它是一種高頻交流 變化電磁波的簡稱。

所謂RF MEMS是用MEMS技術 加工的RF產品。RF-MEMS技 術可望實現和MMIC的高度 集成，使製作集信息的采 集、處理、傳輸、處理和 執行於一體的系統集成芯 片（SOC）成為可能。按微 電子技術的理念，不僅可 以進行圓片級生產、產品 批量化，而且具有價格便 宜、體積小、重量輕、可 靠性高等優點。 RF MEMS器件主要可以 分為兩大類：一類稱為無 源MEMS，其結構無可動零 件；另一類稱為有源 MEMS，有可動結構，在電 應力作用下，可動零件會 發生形變或移動。其關鍵 加工技術分為四大類：平 面加工技術、體矽腐蝕技 術、固相鍵合技術、LIGA 技術。

射頻微機電系統

射頻微機電系統(RF MEMS) 是MEMS技術的重要套用領域之一，也是二十世紀九十年代以來MEMS領域的研究熱點。RFMEMS用於射頻和微波頻率電路中的信號處理，是一項將能對現有雷達和通訊中射頻結構產生重大影響的技術。隨著資訊時代的來臨，在無線通信領域，特別是在移動通信和衛星通信領域，正迫切需要一些低功耗、超小型化且能與信號處理電路集成的平面結構的新型器件，並希望能覆蓋包括微波、毫米波和亞毫米波在內的寬頻波段。而目前的通訊系統中仍有大量不可或缺的片外分立元件，例如電感、可變電容、濾波器、耦合器、移相器、開關陣列等，成為限制系統尺寸進一步縮小的瓶頸。RF MEMS技術的出現有望解決這個難題。採用RF MEMS技術製造的無源器件能夠直接和有源電路集成在同一晶片內，實現射頻系統的片內高集成，消除由分立元件帶來的寄生損耗，真正做到系統的高內聚，低耦合，能顯著提高系統的性能。