FTIR 傅氏轉換紅外線光譜分析儀（Fourier Transform infrared spectroscopy）用於半導體製造業。FTIR仍利用紅外線光譜經傅立葉變換進而分析雜質濃度的光譜分析儀器。傅立葉轉換紅外光譜 (FTIR)是一種用來獲得吸收,射出光電導性或固體, 液體或氣體的拉曼散射的紅外光光譜技術。
基本介紹
- 中文名：傅氏轉換紅外線光譜分析儀
- 外文名：（Fourier Transform infrared spectroscopy）
- 用於：半導體製造業
- 縮寫：FTIR
光譜分析儀,受抑全內反射,套用,
光譜分析儀
目的：·對已套用成熟的用戶來說，可日常化進行計量方面有： A.BPSG/PSG之含磷、含硼量預測。 B.晶片之含氧、含碳量預測。 C.磊晶之厚度量測。·
更高級的套用方面有： A.氮化矽中氫含量預測。 B.復晶矽中含氧量預測。 C.光阻特性分析。FTIR為一極便利之分析儀器，標準的建立為整個量測之重點，由於其中多利用光學原理、晶片狀況（i.e.晶背處理狀況）對量測結果影響。
目前所有的紅外光譜儀都是傅立葉變換型的，光譜儀主要由光源（矽碳棒、高壓汞燈）、麥可遜干涉儀、檢測器和干涉儀組成。而傅立葉變換紅外光譜儀的核心部分是麥可遜干涉儀，把樣品放在檢測器前，由於樣品對某些頻率的紅外光產生吸收，使檢測器接受到的干涉光強度發生變化，從而得到各種不同樣品的干涉圖。這種干涉圖是光隨動鏡移動距離的變化曲線，藉助傅立葉變換函式可得到光強隨頻率變化的頻域圖。這一過程可由計算機完成。
用傅立葉變換紅外光譜儀測量樣品的紅外光譜包括以下幾個步驟：
1)、分別收集背景（無樣品時）的干涉圖及樣品的干涉圖;
2)、分別通過傅立葉變換將上述干涉圖轉化為單光束紅外光；
3)、將樣品的單光束光譜除以背景的單光束光譜，得到樣品的透射光譜或吸收光譜。
受抑全內反射
全內反射：當光從光密媒質進入光疏媒質且入射角大於臨界角時，在兩媒質交界處將發生光的全內反射。
如果將疏媒質的厚度控制到非常薄，例如使兩塊直角稜鏡的底面靠得很近，那么，即便在全反射角度的情況下，透射光依然是可以取出的，亦即全反射受到抑制。
人們已經做過大量的實驗來研究受抑全反射現象，早在 1897年 J. C. Bose就通過實驗證實這一現象的存在。
1902年，霍爾從實驗和理論兩方面解釋說明了這一現象，研究了在不同材料中光的穿透距離和入射角、偏振方向的關係。同時，他還對透射係數進行了理論計算。
受抑全反射現象具有廣泛的套用價值。它的發現推動了光譜學的發展，開闢了一門新的學科——表面非線性光學。
最近幾年，人們利用受抑全內反射 FTIR技術製作出了多點輸入觸控螢幕。
FTIR效應的發生要求空氣薄膜厚度必須在波長範圍內。受抑全反射的透射率隨空氣薄膜厚度的增加而減小，當隨著空氣薄膜厚度從0增加到一個波長數量級左右時，透射率從 100%幾乎下降到 0；在薄膜厚度一定的情況下，增大入射角或選用大折射率的材料，都會使透射率減小。而入射光如果採用可見光，由於可見光波長比較小，在實驗中只能觀察到呈指數衰減部分的變化。
套用
觸摸技術的突破是從FTIR（Frustrated Total Internal Reflection，受抑全內反射）技術開始的，這份功勞歸功於紐約大學的Jeff Han。
在了解了大概的歷史之後，我們現在動手來做我們自己的FTIR多點觸摸桌（Multi Touch Table）。
首先，我們需要了解一下基本原理：
紅外LED（IR LED）發射紅外線進入亞克力板（Acrylic），當亞克力面板的厚度大於8mm時，光線會發生在亞克力內不停反射，而不會跑出來，這就叫做全內反射（Total Internal Reflection），但當你的手指（或者其他材質如矽膠等有一定韌性和反射性的材料）碰到亞克力表面時，全內反射（Total Internal Reflection）被破壞，光線被手指反射出來，此時，亞克力下方正好有紅外攝像頭（IR Camera）捕捉到手指反射的亮點，攝像頭捕捉到的亮點會送到計算機進行處理，形成輸入，有幾個亮點，就形成幾個輸入點。FTIR 多點觸摸（FTIR Multi Touch)的原理就是這樣。
