20世紀90年代由英國Taylor Hobson公司推出的Form- Takysurf測量儀採用麥可遜干涉儀代替了觸針系統中的電感感測器。華中科技大學1994年開發了一種CRAS曲面表面粗糙度...
傅立葉變換紅外光譜儀被稱為第三代紅外光譜儀,利用麥可遜干涉儀將兩束光程差按一定速度變化的複色紅外光相互干涉,形成干涉光,再與樣品作用。探測器將得到的干涉...
精密測量光波長目前主要是通過高解析度的干涉儀與已定的波長標準相比對來實現的,常用的干涉儀有麥可遜(Michelson)干涉儀和法布里一珀羅(Fabry-Perot)干涉儀等...
