EDS(色散譜)

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英文全稱:Energy Dispersive Spectroscopy
原理:利用不同元素的X射線光子特徵能量不同進行成分分析。
與WDS(波譜儀)相比,EDS(能譜儀)具有以下優缺點: 優點:
(1)能譜儀探測X射線的效率高。
(2)在同一時間對分析點內所有元素X射線光子的能量進行測定和計數,在幾分鐘內可得到定性分析結果,而波譜儀只能逐個測量每種元素特徵波長。
(3)結構簡單,穩定性和重現性都很好。
(4)不必聚焦,對樣品表面無特殊要求,適於粗糙表面分析。
缺點:
(1)解析度低.
(2)能譜儀只能分析原子序數大於11的元素;而波譜儀可測定原子序數從4到92間的所有元素。
(3)能譜儀的Si(Li)探頭必須保持在低溫態,因此必須時時用液氮冷卻。

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