8寸分析探針台

8寸分析探針台

8寸分析探針台是一種用於電子與通信技術、計算機科學技術領域的工藝試驗儀器,於2008年12月25日啟用。

基本介紹

  • 中文名:8寸分析探針台
  • 產地:美國
  • 學科領域:電子與通信技術、計算機科學技術
  • 啟用日期:2008年12月25日
  • 所屬類別:工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備
技術指標,主要功能,

技術指標

晶圓尺寸:4,5,6,8 晶圓片裝卸:1個載片盒 (25 或者 26 個片槽),連續的可程式雙向載入,快速單片晶圓手動上下片,防晶圓交叉保護 XYZ- 精度:±3微米。

主要功能

積體電路晶圓測試。

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