高頻放電

高頻放電（high-frequency discharge）是指放電電源頻率在1兆赫以上的氣體放電現象。

基本介紹

• 中文名：高頻放電
• 外文名：high-frequency discharge
• 定義：電源頻率在1兆赫以上的氣體放電

放電現象和結果

高頻放電可以產生穩定的大體積的電漿，因而是電漿成膜和刻蝕技術中最常用的放電形式。通常所用的電源頻率是13.56兆赫，這是因為國際電訊管理局為了防止高頻電磁波輻射的能量對通信的干擾，對工業用的頻率範圍做了規定，其中包括13.56兆赫這個頻率。但輝光放電的非線性效應可使放電迴路內出現基頻的許多諧波，仍有影響通信的高次頻波從放電迴路中發射出來，在迴路中這些諧波輻射的能量比基頻波輻射的要小得多。