高純氣體系統用自動吹洗組件

高純氣體系統用自動吹洗組件（Usedin HighPurity Gas System Automatic Purge Assembly）

氣體工業名詞術語。全程式化微信息處理機控制器可實現系統的自動吹洗。可以很容易地改變吹洗參數，例如閥門順序，吹洗循環次數和吹洗時間等。系統的吹洗硬體回響於來自指令部分的氣動信號，啟動無填料膜片閥。硬體還包括真空發生器，用於每次抽空系統。自動吹洗組件適用於吹洗有毒氣體。