高純氣體系統用\x22+\x22形吹洗組件

高純氣體系統用“+”形吹洗組件(UsedinHighPurityGasSystem"Cross"PurgeAssembly) 氣體工業名詞術語。是一種包括三個閥門和一根進氣管接頭的吹氣集管結構。

安裝在鋼瓶和減壓器之間。三個閥門中一個是減壓器隔離閥,一個是高壓旁泄閥和一個吹洗氣體進口閥。在各部分之間交叉管道的內部通路呈“+”形。316不鏽鋼焊接結構,高純無填料膜片閥,在組裝前採用超音波潔淨處理,在100級潔淨室中組裝和包裝。在更換鋼瓶時可消除污染,防止有毒氣體外漏以及由於空氣中的水分進入系統而導致的腐蝕作用。

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