高純三異丁基鋁是一種化學物質，熔點4 C`。沸點1311。密度fl.7137}/cm3,蒸氣f} 133.3Ya(5(1}')。純度垂99. 999 `} o }}採用減壓精密精餾或分子精餾。
特性
在空氣中白燃，對空氣和水l一分敏感。在MUCVI〕工藝中製備.41C;}As光電子材料中，由乾一異r基鋁的蒸氣壓比三乙基鋁還小導致套用很少,4}此鋁源分解比一乙基鋁還潔淨。此源熱穩定性不好+在室溫條件下可分解為二異丁基氫化鋁放出異丁烯。此源在低壓下適l 1l於沉積鋁膜
高純三異丁基鋁是一種化學物質，熔點4 C`。沸點1311。密度fl.7137}/cm3,蒸氣f} 133.3Ya(5(1}')。純度垂99. 999 `} o }}採用減壓精密精餾或分子精餾。