高精度白光干涉測量儀是一種用於物理學領域的計量儀器，於2017年12月1日啟用。
基本介紹
- 中文名：高精度白光干涉測量儀
- 產地：英國
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2017年12月1日
- 所屬類別：計量儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
檢測精度可達0.03nm，測量範圍H小於等於100mm。
主要功能
三維粗糙度及表面微觀輪廓形狀的檢測分析。
高精度白光干涉測量儀
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