白光干涉式表面測量儀

白光干涉式表面測量儀是一種用於機械工程領域的計量儀器，於2011年1月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：白光干涉式表面測量儀
• 產地：英國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2011年1月1日
• 所屬類別：計量儀器

技術指標

白光干涉式表面測量儀：（1）高度測量範圍為 10nm ---200μm；（2）表面測量範圍為 0.1×0.1mm；（3）垂直解析度可以達1nm。 。

主要功能

干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變數，從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定於測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。