顆粒狀多晶矽，在流態化床內進行化學氣相沉積製成的，平均粒徑為1mm左右的顆粒狀多晶矽。
| 中文名稱 | 顆粒狀多晶矽 |
| 英文名稱 | granular polysilicon |
| 定 義 | 在流態化床內進行化學氣相沉積製成的，平均粒徑為1mm左右的顆粒狀多晶矽。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科） |
基本介紹
- 中文名：顆粒狀多晶矽
- 外文名：granular polysilicon
- 一級學科：材料科學技術
- 二級學科：半導體材料
- 定 義
- 在流態化床內進行化學氣相沉積製成的，平均粒徑為1mm左右的顆粒狀多晶矽。
- 套用學科
- 元素半導體材料（三級學科）
