電子顯微鏡樣品製備裝置

電子顯微鏡樣品製備裝置是一種用於材料科學、航空、航天科學技術領域的分析儀器，於2012年11月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：電子顯微鏡樣品製備裝置
• 產地：德國
• 學科領域：材料科學、航空、航天科學技術
• 啟用日期：2012年11月20日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 透射電鏡

技術指標

·完全由計算機控制的系統 ·減薄角度可在0°～90°之間任意變化； ·為使用者提供最高靈活性的“一體化系統” ·載入——鎖定系統可以保證永久的高真空 ·離子能量可變，以適應不同能量的樣品減薄 ·通過LAN可對減薄過程進行外部控制。

主要功能

·用小角度最小可為0°進行單面或雙面減薄，製備TEM試樣。 ·製備掃描電鏡和光學顯微鏡樣品 ·表面清洗 ·為增強襯度而進行表面減薄 ·可加工樣品的最大直徑為25mm ·45°～90°傾角的減薄可以研究截面結構 ·用各種靶材對SEM或TEM樣品進行原位噴鍍 ·為掃描電鏡、光學顯微鏡，透射電鏡提供各種樣品台。