電子混合氣:Electron gas mixture，指含有兩種或兩種以上有效組份，或雖屬非有效組份但其含量超過規定限量的氣體。由幾種氣體組成的混合物，是工程上常用的工質。混合氣體通常被當作理想氣體研究
基本介紹
- 中文名：電子混合氣
- 外文名：Electron gas mixture
引用標準：
1：GB/T 14601-2009(光電子級)高純氨
2：GB/T17874-2010（光電子級）三氯化硼
3：GB/T21287-2007（光電子級）三氟化氮
4：GB/T15909-2009 矽烷
5：GB/T14288-2009 （光電子級）氧化亞氮
6：GB/T18867-2002 六氟化硫
7：GB/T14602-2014 氯化氫
8：GB/T14603-2009（光電子級）三氟化硼
主組分氣體 | 平衡氣 | 混合氣中主組分氣含量/1% |
矽烷 | 氬、氦、氫、氮 | 0.5~50 |
磷烷 | 氬、氦、氫、氮 | （5~5000）x10-6；5~15 |
砷烷 | 氬、氦、氫、氮 | （5~5000）x10-6；5~10 |
乙硼烷 | 氬、氦、氫、氮 | （5~5000）x10-6；1~10 |
鍺烷 | 氬、氦、氫、氮 | 0.5~50 |
氯化氫 | 氬、氦、氫、氮 | （10~1000）x10-6；0.1~10 |
硒烷 | 氬、氦、氫、氮 | （5~5000）x10-6 |
二乙基碲 | 氬、氦、氫、氮 | （5~150）x10-6 |
一氧化碳 | 氬、氦、空氣、六氟化硫 | （1~1000）x10-6；0.1~3；22 |
氯 | 氬、氦、氮 | （50~1000）x10-6；0.1~3.5；28 |
氨 | 氬、氦、氫、氮 | 5~50 |
四氟甲烷 | 氬、氦、氫、氮 | 5~100 |
四氟矽烷 | 氬、氦、氫、氮 | 10 |
六氟化硫 | 氬、氦、氫、氮 | 5~100 |
